江豐電子(300666.SZ)成立於2005年4月的江豐有限整體變更設立的股份有限公司,自成立以來一直從事高純濺射靶材的研發、生產和銷售業務,產品應用於半導體、平板顯示、太陽能等領域,為大陸最大的半導體晶片用高純濺射靶材生產商。
主要產品為各種高純濺射靶材,包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶等,主要應用於超大型積體電路晶片、液晶面板、薄膜太陽能電池製造的物理氣相沉積(PVD)工藝,用於製作電子薄膜材料。
(1)鋁靶:高純鋁及鋁合金是使用最為廣泛的導電層薄膜材料之一,應用於半導體晶片、平板顯示器、太陽能電池等領域。
(2)鈦靶:鈦是較為常用的阻擋層薄膜材料之一(相應的導電層薄膜材料為鋁),鈦靶要與鈦環件配套使用,其主要功用是輔助鈦靶完成濺射過程,主要應用於超大型積體電路晶片製造領域
(3)鉭靶:鉭是阻擋層薄膜材料之一,但鉭礦資源稀缺,使得高純鉭靶價格昂貴。此產品主要用於超大型積體電路領域。
(4)鎢鈦靶:鎢鈦合金電子遷移率低、熱機械性能穩定、抗腐蝕性能優良以及化學穩定性好,近來鎢鈦合金濺射靶作為半導體晶片門電路接觸層材料得到應用,且鎢鈦靶還可在半導體器件的金屬連接處做阻擋層。產品主要應用於超大型積體電路及太陽能電池領域
(5)其他產品:包括銅靶、鎳靶、鈷靶、鉻靶、陶瓷靶等其他種類的濺射靶材以及金屬蒸發料、LCD用碳纖維複合材料部件(包括碳纖維支撐、碳纖維傳動軸、碳纖維叉臂)等其他產品。
超高純金屬及濺射靶材是生產超大型積體電路的關鍵材料之一,公司的高純濺射靶材主要應用於半導體晶片等領域,半導體晶片領域的收入占公司主營業務收入的比重8成以上,另外,高純濺射靶材產品部分應用於太陽能電池領域。
2019年6月,公司與VERSA CONN CORP.合資設立寧波江豐芯創科技有限公司。芯創科技是IC製造專用設備及關鍵零部件領域製造商。
2020年1月,計畫收購Silverac Stella的00%股權,Soleras的主營業務為磁控濺射鍍膜設備及磁控濺射靶材的研發、生產與銷售。