瀋陽芯源微電子設備股份有限公司

瀋陽芯源微電子設備股份有限公司(688037.SH)成立於2002年，為國內領先的高端半導體裝備製造企業，也是唯一的中高端塗膠顯影設備提供商，產品廣泛應用於半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道製程及300mm先進封裝厚膠工藝製程。公司為國家集成電路重大科技專項(02專項)支持的唯一一家國產塗膠顯影設備企業，也是該科技專項實施以來培育起來的第一家以光刻設備研發和產業化為目標的上市公司，2019年於科創板掛牌上市。

 
公司從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，光刻工序塗膠顯影設備(塗膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備(清洗機、去膠機、濕法刻蝕機，產品可用於6英寸及以下單晶圓處理及8/12英寸單晶圓處理。
 
主要客戶包括台積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內的多家國內知名大廠。