拓荊科技股份有限公司
人氣(1965)
拓荊科技股份有限公司(688072.SH)成立於2010年,總部位於瀋陽市渾南區,是國家高新技術企業,主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。2020年在北京、上海、海寧成立三家子公司。
公司主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備、原子層沉積(ALD)設備和次常壓化學氣相沉積(SACVD)設備三個產品系列,擁有自主知識產權,技術指標達到國際同類產品先進水平,產品主要應用於集成電路晶圓製造,以及TSV封裝、光波導、Micro-LED、OLED顯示等高端技術領域。公司在北京、上海、武漢、合肥、天津、台灣等多個地區的近40條生產線都設有技術服務中心。
客戶方面,PECVD設備有中芯國際、華虹集團、長江存儲、重慶萬國半導體;ALD設備有ICRD;SACVD設備有北京燕東微電子。
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