Shibaura Mechatronics Corp.
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Shibaura Mechatronics Corp.(芝浦機電株式會社,6590.JP)於1939年創立,總部設在日本神奈川,是日本一家精密機電一體化業務的製造商,在日本、亞洲和國際上生產和銷售平面顯示器(FPD)、半導體和電子元件的製造設備。公司的平面顯示器(FPD)製造設備,包括清洗、顯影、蝕刻、剝離和配向薄膜噴墨塗層設備,以及面板貼合設備;半導體製造設備,包括半導體檢測、蝕刻、清洗設備與倒裝貼片設備;真空應用設備包括光學與半導體濺鍍設備、真空泵;各種應用設備包括自動化系統、二次電池製造設備,以及雷射應用和微波應用設備、精密零件製造設備等。公司前身為Shibaura Engineering Works Co., Ltd.,與東芝機電株式會社合併後於1998年10月與變更為現名。
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