圖案化藍寶石基板(PSS)

圖案化藍寶石基板(PSS)，即為提高LED晶片的亮度與光萃取率，將藍寶石平面晶圓以半導體蝕刻製程，於LED藍寶石基板進行圖案化加工，並經由PSS控制LED的發光形式，能夠減少差排密度、改善晶體藉以提升LED的內部量子效率，同時PSS的凹凸結構能夠散射光線(Scattering Light)，增加LED的亮度。

 

PSS的結構尺寸通常數微米到次微米之間，圖案化結構越小及深寬比越高，元件的光取出的效率就越高。其方法可分為壓印微影法及轉印法：

 

1.壓印微影法：指將做為蝕刻遮罩材料的壓印膠塗佈於藍寶石基板上，然後利用壓印製程將壓印膠圖案化，接著先去除壓印殘餘層，再進行藍寶石基板的乾蝕刻，最後除殘留的遮罩層後即完成藍寶石基板的圖案化。

 

2.轉印法：比較光阻與壓印遮罩材料對藍寶石基板的蝕刻選擇比偏低，金屬則有很高的蝕刻選擇比，配合接觸轉印微影技術，在細微結構及高深寬比的圖案化藍寶石基板製作上，具有很高的應用潛力。