疊層缺陷面缺陷之一種，是指在一個原子面上以錯誤之順序，加以堆積所造成的缺陷，也就是對於正規的堆積，增多一個原子面或漏掉一個原子面之構造。主要產生在結晶生長中，特別以磊晶法生長之矽晶圓，在氧氣中加熱之矽晶圓表面最常看見。
