微機電整合

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                微機電整合係指極微小尺寸及精度（通常在微米--Micron-11m 
等級）的機器構造，與電子或光電元件結合次訊與控制技術，作微小運動或極高精度的感測工作。

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分類主題： IC設計‧MEMS

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