盛美半導體設備(上海)股份有限公司

盛美半導體設備(上海)股份有限公司(688082.SH)成立於2005年，專注於半導體專用設備的研發、生產和銷售，主要產品包括半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等，是國內半導體清洗設備的龍頭企業。2021年11月在上海科創版上市，並且成為業內第一家同時在美國納斯達克和科創板掛牌的半導體裝置企業。
 
主要客戶包括海力士、長江存儲、華虹集團、中芯國際、長電科技、合晶、昇陽半導體等國內外半導體行業龍頭企業。
 
主要競爭者包括DNS、Lam Research、北方華創、至純科技、辛耘、芯源微等企業。

迄2021年6月，公司及控股子公司擁有已獲授予專利權的主要專利322項，其中境內授權專利152項，境外授權專利170項，其中發明專利共計317項，並獲得“上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室”稱號。“20-14nm銅互連鍍銅設備研發與應用”和“65-45nm銅互連無應力拋光設備研發”等中國“02專項”重大科研項目的主要課題單位；2020年12月，公司“SAPS(空間交變相位移)兆聲波清洗技術”獲得上海市科學技術獎一等獎。